技術(shù)編號：6829869
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種光刻投影設(shè)備，包括-輻射系統(tǒng)，其用于提供輻射的投影束；-支撐結(jié)構(gòu)，其用于支撐圖案形成裝置，該圖案形成裝置根據(jù)所需的圖案使投影束組成圖案；-基底臺，其用于保持基底；以及-投影系統(tǒng)，其用于將組成圖案的束投射到基底的目標(biāo)部分上，-定位系統(tǒng)，其用于定位物體，所述物體為支撐結(jié)構(gòu)和基底臺中的至少一種，所述定位系統(tǒng)具有串接的一長行程模塊和一短行程模塊以及一用于控制長行程模塊和短行程模塊以所需速度沿所需路線移動被定位的物體的控制系統(tǒng)。本文所用術(shù)語“圖案形成裝...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。