技術(shù)編號：6829350
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。位于具有可由溶液低溫加工的電介質(zhì)的機械柔性聚合物襯底上的金屬氧化物場效應(yīng)晶體管本發(fā)明涉及一種制備包含至少ー個襯底、至少ー種電介質(zhì)和至少ー種半導(dǎo)體金屬氧化物的電子組件，尤其是場效應(yīng)晶體管(FET)的方法，其中基于有機改性ニ氧化硅化合物，尤其是基于倍半硅氧烷和/或硅氧烷的電介質(zhì)或其前體化合物可由溶液加工且在室溫至350°的低溫下熱處理，并且所述半導(dǎo)體金屬氧化物，尤其是ZnO，或其前體化合物同樣可在室溫至350°的低溫下由溶液加工。此外，本發(fā)明涉及一種相應(yīng)的電子...
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