技術(shù)編號：6828347
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及薄膜器件的剝離方法、薄膜器件的轉(zhuǎn)移方法、薄膜器件、有源矩陣基板和液晶顯示裝置。背景技術(shù) 例如在制造使用了薄膜晶體管(TFT)的液晶顯示器時，經(jīng)過利用CVD法等在基板上形成薄膜晶體管的工序。由于在基板上形成薄膜晶體管的工序伴隨高溫處理，故必須使用在耐熱性方面良好的材料、即軟化點和熔點高的材料的基板。因此，現(xiàn)在作為能耐受約1000℃的溫度的基板，使用了石英玻璃，作為能耐受500℃左右的溫度的基板，使用了耐熱玻璃。如上所述，安裝薄膜器件的基板必須滿足制...
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