技術(shù)編號(hào)：6825636
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及電極，尤其涉及靜電懸浮的操作電極。在超大規(guī)模集成電路加工、精密電子元器件制作、光學(xué)與精密機(jī)械制造等過程中，目前多采用機(jī)械手對(duì)硅片Wafer、CD片、LCD片和其它表面超精加工的精密元器件進(jìn)行接觸操作，由此造成的表面污染和摩擦損傷，是制約這些精密元器件質(zhì)量和性能的主要因素。解決這一問題十分必要和迫切，而采用懸浮技術(shù)是一種最佳的解決方法?，F(xiàn)有的懸浮技術(shù)以磁懸浮為主，它基于磁極與懸浮體之間的電磁力，分別以德國的常導(dǎo)磁懸浮和日本的超導(dǎo)磁懸浮為代表。已...
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