技術(shù)編號：6825041
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明關(guān)于一種絕緣柵型半導(dǎo)體器件，諸如具有在絕緣基片上形成的薄膜有源層(即一個有源區(qū)或溝道區(qū))的薄膜晶體管(TFT)。本發(fā)明所屬的領(lǐng)域是半導(dǎo)體集成電路、液晶顯示器件、光學(xué)讀出設(shè)備等。目前對于在絕緣基片上具有薄膜有源層的絕緣柵型半導(dǎo)體器件人們已做了許多研究和開發(fā)，特別是對所謂的薄膜晶體管(TFT3)作了長期不懈的努力。這些TFT被試圖用來控制在諸如LCD之類的顯示器件中的矩陣結(jié)構(gòu)的各象素。根據(jù)所用的材料和半導(dǎo)體的結(jié)晶狀態(tài)，TFT被劃分為非晶硅TFT和多晶硅T...
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