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金屬薄膜制造方法以及金屬薄膜的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6824831

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本發(fā)明涉及由金屬微粒子分散體制造導(dǎo)電性優(yōu)異的低體積電阻率的金屬薄膜的方法以及通過該方法制造的金屬薄膜。背景技術(shù)為了形成導(dǎo)電回路,在篩網(wǎng)印刷和分配器中使用采用了導(dǎo)電粒子的導(dǎo)電性糊。作為使用的導(dǎo)電粒子,為粒徑在數(shù)μ m以上的薄片狀金屬粉等,將回路的厚度制成10 μ m以上以確保導(dǎo)電性。導(dǎo)電回路在近年來快速地高密度化。為了能夠形成更高密度的回路,人們正在開發(fā)更微細(xì)的金屬微粒子。根據(jù)生成的相,微粒子的制造方法分為固相法、氣相法和液相法。在固相法的粉碎工序中,粒徑以...
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