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半導(dǎo)體封裝及其倒裝芯片接合法的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6823509

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本發(fā)明涉及如LSI芯片等的半導(dǎo)體芯片安裝在由有機(jī)材料形成的載體基板結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體封裝。迄今為止,作為通過倒裝芯片接合技術(shù)將半導(dǎo)體芯片連接到基板的方法,使用焊料突點(diǎn)的方法已公知為C4技術(shù)。根據(jù)該方法,焊料突點(diǎn)通過阻擋金屬形成在芯片一側(cè)鋁電極焊盤上,同時(shí)焊料潤濕性優(yōu)良的鍍金層提供到基板一側(cè)連接端子上,在無助熔劑(fluxless)的非氧化氣氛中回流焊料,將芯片接合到基板。當(dāng)使用的基板為陶瓷基板時(shí),基板用做氣密封接,而當(dāng)為有機(jī)基板時(shí),已調(diào)節(jié)熱膨脹系數(shù)的樹脂-硅化合...
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