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磷化銦基磷化銦/銦鎵砷銻/磷化銦雙異質(zhì)結(jié)雙極晶體管的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6820487

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本發(fā)明屬于半導體微電子、微波器件領(lǐng)域,特別是指一種磷化銦基磷化銦/銦鎵砷銻/磷化銦雙異質(zhì)結(jié)雙極晶體管。為了克服電子的阻擋效應,集電區(qū)需要設(shè)計成特殊的結(jié)構(gòu)??梢栽贐C結(jié)中間生長一層組分漸變層,以實現(xiàn)能帶漸變。目前已經(jīng)研究了各種摻雜和組分的能帶漸變材料來克服BC結(jié)間電子的阻擋效應,并取得了很大成功,但是要想克服由于大的導帶不連續(xù)性造成的電子的阻擋效應,就要求有較長的組分漸變層,較寬的耗盡區(qū)和高的摻雜水平,并且,器件的性能與組分銻度有很大的關(guān)系。克服電子阻擋效應...
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