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固態(tài)成像裝置及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6820006

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本發(fā)明涉及電荷耦合元件(CCDCharge Coupled Device)等,尤其是關(guān)于多個柵電極按一定間隔而配置的。背景技術(shù) 我們所熟知的是現(xiàn)有的用于圖像傳感器中的電荷耦合元件(CCD)。在這種電荷耦合元件中,單層?xùn)烹姌O構(gòu)造的電荷耦合元件與雙層?xùn)烹姌O構(gòu)造的電荷耦合元件已經(jīng)為大家所知。此外,雙層?xùn)烹姌O構(gòu)造的電荷耦合元件已經(jīng)在特開平11-204776號公報中公開。在單層?xùn)烹姌O構(gòu)造的電荷耦合元件中,通常利用光刻(lithography)技術(shù)使形成柵電極的膜圖形...
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