技術編號：6819792
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及非晶硅太陽能電池的制造方法屬半導體器件制造，具體地說是。公知的用于弱光條件下的一種內聯式非晶硅太陽能電池的制造工藝流程為透明導電膜玻璃基片→絲印正電極保護膜→腐蝕透明導電膜→去除保護膜，清洗干燥→沉積非晶硅薄膜→激光刻劃非晶硅層→真空蒸鍍鋁膜→激光刻劃鋁膜→印背漆、字符→印可焊電極→切割測試包裝入庫另一種用于弱光條件下的外聯式非晶硅太陽能電池的制造工藝流程為透明導電膜玻璃基片→絲印透明電極抗蝕保護膜→腐蝕透明導電膜→去除抗蝕保護膜→清洗→沉積非晶...
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