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半導體器件的制作方法技術資料下載

技術編號:6816511

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本發(fā)明涉及半導體器件,特別是涉及強電介質(zhì)存儲器件中對特性離散和特性退化的改進。作為現(xiàn)有的半導體器件,已開發(fā)出了從例如已搭載有放大電路,振蕩電路和電源電路等的規(guī)模比較小的集成電路,到作為微處理器或存儲器件的大規(guī)模的集成電路的各種器件。特別是近些年來,作為非易失性存儲器件的一種,人們提出了一種帶有強電介質(zhì)電容器的強電介質(zhì)存儲器件。上述強電介質(zhì)電容器由相向的一對電極和由被夾在該兩電極之間的強電介質(zhì)材料構成的電介質(zhì)層構成,對于上述兩電極間的外加電壓與強電介質(zhì)材料的...
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