技術(shù)編號(hào)：6814717
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明有關(guān)一種流體輸送系統(tǒng)，特別是有關(guān)一種避免于管路內(nèi)部形成流體停滯以維持輸送管路內(nèi)高純凈度的自動(dòng)循環(huán)式管路系統(tǒng)。背景技術(shù) 于半導(dǎo)體制作工序中，經(jīng)常需要使用到大量的高純度氣體或是純水，以進(jìn)行例如干蝕刻(Dry etching)、濺鍍(sputtering)或是各項(xiàng)清洗程序。當(dāng)此高純度氣體或純水的品質(zhì)不穩(wěn)定時(shí)，不僅會(huì)降低制作工序良率，甚至可能造成機(jī)臺(tái)損壞。因此，如何有效控制輸送管路中流體的高純凈度，成為各工程人員致力研究的問題。圖1所示為傳統(tǒng)的使用于輸送超純...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。