技術(shù)編號(hào)：6812850
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本申請(qǐng)是于1995年9月29日提出申請(qǐng)的，系列號(hào)為No.536,923、Paul Kevin shufflebothum和Michael S.Barnes的名稱(chēng)為“在真空處理裝置中靜電夾持絕緣工件的方法和裝置”的共同待審申請(qǐng)的連續(xù)部分。本發(fā)明總地涉及在真空處理裝置中夾持絕緣工件的方法和裝置，特別涉及在處理裝置中通過(guò)對(duì)與離子電絕緣的電極施加電壓而靜電夾持絕緣工件的方法和裝置。真空等離子體處理裝置包括含有工件夾具，即夾盤(pán)的真空室，其中工件夾具用于夾持具有被腐蝕...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。