技術(shù)編號(hào)：6809742
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種在含有處理液的槽體中進(jìn)行襯底的化學(xué)濕處理的裝置，其具有一提升裝置，用于導(dǎo)入和移出至少一個(gè)襯底載體和襯底，本發(fā)明還涉及使用此種提升裝置的一種干燥方法。目前， 自動(dòng)濕處理裝置包含多個(gè)連續(xù)進(jìn)行化學(xué)濕處理的容器或槽體。在完成化學(xué)處理程序之后或在處理過程之間，將襯底，例如，平行裝在盒中的硅晶片，浸入漂洗槽體中并隨后進(jìn)行干燥處理。襯底的干燥可使用離心機(jī)來進(jìn)行，也可以在將襯底從漂洗槽體中緩慢取出的過程中進(jìn)行。歐洲文獻(xiàn)0385536中介紹了一種眾知的干燥方...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。