技術(shù)編號：6809446
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及其主要成分是具有結(jié)晶硅的半導(dǎo)體的制造方法，特別是涉及用于半導(dǎo)體元件例如薄膜晶體管的結(jié)晶硅半導(dǎo)體的制造方法。通常，采用薄膜半導(dǎo)體的薄膜晶體管(以下稱為TFT)是已知的。TFT是由形成在襯底上的薄膜半導(dǎo)體來構(gòu)成的。TFT用于各種集成電路，尤其是電光器件例如液晶顯示，特別是有源矩陣型液晶顯示器件各個象素的開關(guān)元件或者形成在外圍電路部分的驅(qū)動元件。采用非晶硅膜作為TFT的薄膜半導(dǎo)體雖然簡單方便，但其電特性較差。為了改善TFT的性能，最好采用具有結(jié)晶性的硅...
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