技術(shù)編號(hào):6809356
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及拉曼激光器,特別是一種產(chǎn)生157nm激光的拉曼激光器,利用拉曼頻移效應(yīng)產(chǎn)生157nm高光束質(zhì)量激光輸出的激光器。背景技術(shù)在光刻技術(shù)中,157nm波長(zhǎng)的激光輸出是下一代光刻技術(shù)的關(guān)鍵。在先技術(shù)中,是由氟分子準(zhǔn)分子激光器產(chǎn)生的,而氟分子準(zhǔn)分子激光器設(shè)備笨重、成本高,而且運(yùn)行成本也高,嚴(yán)重影響157nm光刻技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是要克服現(xiàn)有氟分子準(zhǔn)分子激光器設(shè)備笨重和成本高的缺點(diǎn)。提供一種157nm拉曼激光器,該激光器...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。