技術(shù)編號：6808949
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一般說來涉及到高頻電路，更確切地說是涉及微波集成電路的無源元件?，F(xiàn)有的高性能單片微波集成電路(MMIC)都制作在GaAs襯底上以便將信號傳播損耗減到最小。標(biāo)準(zhǔn)的硅襯底，盡管在購置、處理和加工方面的費用比GaAs襯底低，但由于原先都認(rèn)為硅不適合于這種通常傳播頻率高于500MHz的信號的電路，而未被用作MMIC的高性能襯底。特別是硅的電阻率比GaAs低這一點被認(rèn)為是采用硅襯底的一個重要缺陷。然而若能夠采用硅襯底，則MMIC的片子和加工成本將大大地降低。因...
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