技術(shù)編號：6808378
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種器件的制造方法，特別是涉及但不僅涉及薄膜晶體管(TFT)的制造方法。薄膜晶體管廣泛應(yīng)用于包括有源矩陣液晶顯示器在內(nèi)的液晶顯示器和其它平板顯示器中，用以控制或探測顯示器中每個象素的狀態(tài)。美國專利US-A-5130829記載了一種普通的TFT結(jié)構(gòu)，稱為下柵極式TFT(bottom gate TFT，BGTFT)。在這種結(jié)構(gòu)中，柵極端子位于諸如鋁硅酸鹽玻璃的絕緣襯底上，并且覆蓋有例如氮化硅(SiN)的絕緣材料層以及例如本征氫化非晶硅(a-SiH)和...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。