技術編號：6806660
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種包括微電子機械系統(tǒng)(MEMS)單元陣列的電子設備，所述陣列在其輸出具有多個狀態(tài)。本發(fā)明還涉及一種微電子機械系統(tǒng)(MEMS)單元陣列的驅動，所述陣列在其輸出具有多個狀態(tài)。MEMS(micro-electro-mechanical-systems)技術被用于在無線應用中開發(fā)用于RF模塊的可調無源元件。MEMS技術已經在類似傳感器和投影顯示的產品中被應用。在RF電路的應用降低功率消耗并提高無線通信系統(tǒng)的性能。尤其是，MEMS技術被應用在集成RF前端...
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