技術(shù)編號：6805473
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明是涉及對被處理基板實施等離子體處理技術(shù)，特別是涉及向電極供給高頻，生成等離子體方式的等離子體處理技術(shù)。本發(fā)明特別是涉及在制造半導體器件的半導體處理中利用的等離子體處理技術(shù)。這里，所謂半導體處理，意味著在半導體晶片、LCD(Liquid crystaldisplay液晶顯示器)、及FPD(Flat Panel Display平面顯示器)用的玻璃基板等的被處理基板上以規(guī)定的圖案形成半導體層、絕緣層、導電層等，由此在該被處理基板上制造半導體器件、包括半導體...
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