技術(shù)編號：6804632
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明組合線圈感應(yīng)耦合高密度等離子體源屬于等離子體工藝設(shè)備，可用于等離子體材料工藝，如低氣壓下的金剛膜生長，化學(xué)積沉等特別是用于半導(dǎo)體器件的刻蝕工藝設(shè)備。目前應(yīng)用的感應(yīng)離子源基本上可以分為兩類，即平面線圈型和圓柱線圈型。這兩種現(xiàn)有的感應(yīng)離子源各有其缺點。由于在等離子體刻蝕等工藝中，對加工的均勻性有相當(dāng)?shù)囊?，通常要求小?%，平面線圈型的感應(yīng)離子源存在著感應(yīng)效率偏低的問題，而圓柱線圈型的感應(yīng)離子源存在著均勻性差的問題，這是因為靠近線圈區(qū)域的等離子體密度比較...
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