技術(shù)編號:6804436
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及低溫下,低至450℃或更低的溫度,制造絕緣柵半導(dǎo)體器件的工藝方法,還涉及以高成品率,制造包括有高集成度的所述器件的集成電路(IC)的方法。本發(fā)明涉及用上述工藝制造的半導(dǎo)體器件,進(jìn)一步涉及高可靠性的半導(dǎo)體器件。依照本發(fā)明的半導(dǎo)體器件,適用于,例如,有源的陣列驅(qū)動液晶顯示器,圖象傳感器驅(qū)動電路等,以及用于SOI集成電路及通用半導(dǎo)體集成電路(例如,微處理機(jī)、微控制器、微機(jī)、半導(dǎo)體存貯器等)的薄膜晶體管。近來,人們致力于研究在絕緣襯底上制造絕緣柵半導(dǎo)體器...
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