技術(shù)編號：6794061
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種用于承載半導體原料晶片的擴散爐實驗用石英舟。背景技術(shù)硅晶片作為半導體加工原料常需在擴散爐中擴散，以使硅晶片表面(單面或雙面)一定深度范圍內(nèi)的薄層中摻入某類型雜質(zhì)形成摻雜區(qū)域。為使硅晶片表面摻雜區(qū)域的等濃度截面平行于晶片表面，晶片橫向放置，使待擴散表面常朝向雜質(zhì)源來向。這種硅晶片放置方式一方面可保證擴散過程中待擴散的晶片表面蒸汽壓力恒定；另一方面，橫向放置的晶片減緩了雜質(zhì)源流動的速度，擴散充分，降低了晶片擴散的原料成本。為實現(xiàn)晶片的橫向放置...
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