技術(shù)編號(hào)：6790632
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于存儲(chǔ)器制造領(lǐng)域，尤其涉及一種。背景技術(shù)閃存元件由于具有可多次進(jìn)行數(shù)據(jù)的存入、讀取、擦除等動(dòng)作，且存入的數(shù)據(jù)在斷電后也不會(huì)消失的優(yōu)點(diǎn)，所以已成為個(gè)人計(jì)算機(jī)和電子設(shè)備所廣泛采用的一種揮發(fā)性存儲(chǔ)器元件。如圖1所示，典型的閃存元件是以摻雜的多晶硅制造浮柵(Floating Gate,FG)與控制柵極(Control Gate, CG) 0而且，控制柵極直接設(shè)置在浮柵上，浮柵與控制柵極之間以疊層?xùn)艠O介電層相隔，而浮柵與基底層以遂穿氧化層(Tunnel Ox...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。