技術編號：6786102
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及太陽能電池，尤其涉及一種銅銦鎵硒薄膜的制造工藝。背景技術銅銦鎵硒太陽能電池通常包含一層剛性的玻璃底板或是柔性的不銹鋼，同時含有鑰層，P-型銅銦鎵硒吸收層，硫化鎘或硫化鋅緩沖層，本征氧化鋅、透明導電氧化物窗口層(TCO)和表面接觸層。銅銦鎵硒薄膜是CIGS太陽能電池生產(chǎn)的核心。目前銅銦鎵硒太陽能電池的制造方法大體上可被分為真空法和非真空法。真空法主要包括共蒸鍍法和濺射加后硒化處理方法。共蒸鍍法在實驗室和商業(yè)應用中都是一種常見的沉積方法。共蒸鍍法使用...
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