技術(shù)編號(hào)：6784879
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。背景技術(shù)發(fā)明領(lǐng)域本發(fā)明涉及有機(jī)硅酸鹽玻璃介電薄膜的處理劑組合物。更特別是，本發(fā)明涉及恢復(fù)有機(jī)硅酸鹽玻璃介電薄膜表面的疏水性的方法，該薄膜以除去至少一部分先前存在的含碳部分的方式已經(jīng)歷蝕刻或灰化處理，得到具有疏水性降低的薄膜。為了確保這些薄膜的低介電常數(shù)和穩(wěn)定的電介質(zhì)性質(zhì)，這些處理過的薄膜在半導(dǎo)體器件例如集成電路(“IC”)的制備中用作絕緣材料。這些組合物包括具有活性離去基團(tuán)的硅烷基單體，可以是酸、堿、類化合物、脫水劑及其組合的活化劑，及溶劑或主要溶劑和共...
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