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相變化存儲單元結(jié)構(gòu)及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6778655

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本發(fā)明涉及一種存儲器裝置,而特別有關(guān)于一種相變化存儲單元結(jié)構(gòu)及 其制造方法。背景技術(shù)相變化存儲器具有非揮發(fā)性、高讀取信號、高密度、高擦寫次數(shù)以及低 工作電壓/電流的特質(zhì),是相當(dāng)有潛力的非揮發(fā)性存儲器。其中提高存儲密度、 降低電流密度是重要的技術(shù)指針。相變化材料至少可呈現(xiàn)兩種固態(tài)相,包括結(jié)晶態(tài)及非結(jié)晶態(tài), 一般系利 用溫度的改變來進(jìn)行兩態(tài)間的轉(zhuǎn)換。與結(jié)晶態(tài)相較,由于非結(jié)晶態(tài)混亂的原 子排列而具有較高的電阻,因此通過簡單的電性量測即可輕易區(qū)分出相變化 材料的結(jié)...
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