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半導體存儲裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6776990

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本發(fā)明涉及一種使主位線交叉、為降低主位線間耦合噪聲而開發(fā)的存 儲器陣列結(jié)構(gòu)的半導體存儲裝置,特別涉及該主位線間的泄露電流的檢測 技術(shù)。背景技術(shù)虛擬接地存儲器陣列(VGA),可以采取面積利用率極佳的存儲器陣 列的結(jié)構(gòu),作為大容量存儲器的一種實現(xiàn)方法,它已得到應(yīng)用(例如,專 利文獻l,參照圖4)。此外,為了防止VGA結(jié)構(gòu)上所特有的漏極*源極 通用所帶來的往相鄰單元的單元電流的泄露(下稱相鄰效果),采取了一 種對相鄰單元的源極施加電壓,來抑制相鄰效果的方法(例如...
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