技術(shù)編號(hào):6775870
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種在硬盤(pán)等磁記錄盤(pán)的制造中向基板的兩個(gè) 表面照射離子束以對(duì)基板的兩個(gè)表面進(jìn)行處理的基板處理設(shè)備 以及^茲記錄介質(zhì)制造方法。背景技術(shù)硬盤(pán)等磁記錄盤(pán)的制造大致分為前處理和后處理,其中, 前處理包括村層的形成、用于記錄層的^F茲膜的形成以及用于保 護(hù)記錄層的保護(hù)膜的形成,并且后處理包括例如已形成保護(hù)膜 的基板表面上的潤(rùn)滑層的形成。通常,磁記錄盤(pán)在基板的兩個(gè)表面上都具有記錄層,因此, 在前述的處理中,在基板的兩個(gè)表面上進(jìn)行各種處理。作為用于如上所述對(duì)基...
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