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制造介質(zhì)的方法和制造工件的系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6771873

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本發(fā)明總地涉及硬盤驅(qū)動器,更特別地,涉及制造介質(zhì)的系統(tǒng)和方法。 背景技術(shù)硬盤驅(qū)動器中對更高面密度的需求要求頭和盤介質(zhì)之間的界面的磁間距持續(xù)減小。從磁記錄介質(zhì)的觀點來說,減小磁間距的嚴(yán)峻挑戰(zhàn)在于減小盤介質(zhì)上的碳外涂層厚度的固有極限。常規(guī)制造技術(shù)的一個限制是它們產(chǎn)生的表面粗糙度。粗糙表面減小了常規(guī)涂層執(zhí)行其提供本征覆蓋功能的能力,這導(dǎo)致對盤介質(zhì)的腐蝕。此外,粗糙介質(zhì)提供對于頭的更小的間隙。機械拋光工藝諸如末級帶拋光(final tape polish)或擦磨拋...
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