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Mems靜態(tài)存儲器及mems可編程器件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6769410

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本發(fā)明涉及存儲器以及互連結(jié)構(gòu)領(lǐng)域,特別涉及一種MEMS靜態(tài)存儲器及其存儲單元、MEMS可編程器件及其MEMS開關(guān)盒和MEMS連接盒。背景技術(shù)隨著信息技術(shù)的不斷發(fā)展,各種存儲器在電子設(shè)備中得到了廣泛的使用。根據(jù)存儲器的原理以及結(jié)構(gòu)的不同,存儲器可以分為靜態(tài)存儲器(SRAM)、動態(tài)存儲器(DRAM)、閃速存儲器(Flash)、只讀存儲器(ROM)、電可擦可編程只讀存儲器(EEPROM)等。其中,由于靜態(tài)存儲器具有讀寫速度快、無需刷新等優(yōu)點,因此廣泛用作內(nèi)存、高...
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