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具有雙隧道勢壘的磁器件及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6764551

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一種雙隧道勢壘磁元件具有位于第一隧道勢壘與第二隧道勢壘之間的自由磁層、以及在所述第二隧道勢壘上方的電極。兩步蝕刻處理使得可以在第一蝕刻之后在所述電極和第二隧道勢壘的側(cè)壁上形成封裝材料,以防止當(dāng)執(zhí)行第二蝕刻以移除自由層的一部分時對第一隧道勢壘的損傷。專利說明[0001]本文中所描述的示例性實施例一般涉及集成磁器件,更具體地,涉及具有雙隧道勢壘的磁傳感器和磁阻存儲器。背景技術(shù)[0002]磁電子器件、自旋電子器件和自旋電子學(xué)器件是用于利用主要由電子自旋引起的效應(yīng)...
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