技術(shù)編號：6759377
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種面形狀形成方法及其裝置，特別是關(guān)于一種形成保護層并通過蝕刻方式形成面形狀的方法及其裝置。背景技術(shù) 磁盤驅(qū)動裝置(HDD)包括形成有對磁盤進行讀寫數(shù)據(jù)的磁頭元件部的磁頭。并且，在目前的磁盤驅(qū)動裝置中，隨著記錄數(shù)據(jù)的高密度化，要求磁頭盡量接近磁盤表面，即對磁頭的低上浮化要求越來越高。為了實現(xiàn)低上浮化，在磁頭飛行面上，利用磁盤旋轉(zhuǎn)時流入的空氣流產(chǎn)生適當?shù)闹貕毫Χ纬梢?guī)定形狀的凹凸部。并且，近年來該飛行面的形狀越來越復(fù)雜化，其形成方法必備多個層次(多...
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