技術(shù)編號：6754169
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種檢查裝置(檢測裝置)和一種檢查方法(檢測方法)，該裝置和方法用于檢測形成在一平面部件上的一突出部分的凸面的頂部位置和構(gòu)成該凸面的背表面的凹面的最深位置在一預(yù)定的XY-平面內(nèi)的位置偏差。背景技術(shù)當(dāng)例如在一平面金屬板上形成一突出部分時，采用諸如壓制的方法，其中使用陽模和陰模。當(dāng)用熔點(diǎn)較低的材料形成一具有一突出部分的平面結(jié)構(gòu)的部件時，采用諸如注射成形的方法，其中使用陽模和陰模。通常，在用這樣的成形方法獲得的突出(部分)中，假定其中形成該突出部分的平...
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