技術(shù)編號：6752862
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于盤狀物特別是晶片的液體處理的裝置。背景技術(shù) 當(dāng)晶片這個詞在下文中使用的時候，其代表非常多種類型的盤狀物，例如硬盤、光盤或是用于平面顯示板的平基片。在液體處理的時候，該晶片可以或靜止或繞著其軸線旋轉(zhuǎn)。已知用于晶片的液體處理裝置，其中該晶片被保持在一載體上而液體從上方或下方施加至該晶片上。該載體在液體施加期間與該晶片一起旋轉(zhuǎn)，而該液體被甩離該晶片和/或載體。舉例來說，此種裝置被描述在美國專利第4,903,717號中。該被甩離的液體會打到一包圍...
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