技術(shù)編號(hào)：6749576
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一般地涉及靜電致動(dòng)器，并且更具體地涉及帶有梳狀驅(qū)動(dòng)組件的旋轉(zhuǎn)靜電微致動(dòng)器。許多在先的旋轉(zhuǎn)靜電馬達(dá)使用一個(gè)中心軸承，帶有各種圍繞馬達(dá)的靜電定子安排以引起轉(zhuǎn)動(dòng)?？上?，這些馬達(dá)傾向于具有中心軸承處的磨擦問題并且有與軸承的磨損相關(guān)的壽命問題。這些馬達(dá)一般地起步進(jìn)馬達(dá)的作用，在定子元件受到吸引時(shí)轉(zhuǎn)子以增量的運(yùn)動(dòng)。從而，用這種馬達(dá)難于把一個(gè)板精確地調(diào)節(jié)到一個(gè)特定的角。已經(jīng)說明過用撓性的元件支承一個(gè)旋轉(zhuǎn)元件的的其它角度馬達(dá)。在一個(gè)同心地繞一個(gè)中心撓性樞軸的弧中安排...
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