技術(shù)編號：6712280
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及。該裝置是用于監(jiān)視在地板部配置了能夠取下的格柵的無塵室的內(nèi)部的無塵室的監(jiān)視裝置，該裝置具備監(jiān)視照相機(jī)，其拍攝上述格柵；監(jiān)視部，其根據(jù)利用上述監(jiān)視照相機(jī)得到的圖像信號來檢測取下了上述格柵的開口部的有無，并在有開口部的情況下檢測接近該開口部的作業(yè)人員的有無，并在檢測到上述作業(yè)人員時輸出警報(bào)信號；以及警報(bào)發(fā)生單元，其從上述監(jiān)視部接受上述警報(bào)信號，并發(fā)出警報(bào)。專利說明 [0001]本發(fā)明涉及。 背景技術(shù) [0002]以往以來，例如在用于制造半導(dǎo)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。