技術(shù)編號:66648
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明針對包括原子力顯微鏡(AFMs)的掃描探針顯微鏡(SPMs)。更具體地,本發(fā)明針對AFM操作的模式,其在高速下、以低的尖端-樣本相互作用力和高分辨率提供力控制。背景技術(shù)諸如原子力顯微鏡(AFMs)的掃描探針顯微鏡(SPMs)是下述裝置,其通常使用具有尖端的探針并使所述探針與樣本的表面以很低的力相互作用,以下至原子尺寸描述表面特性。大體上講,探針引導(dǎo)至樣本表面以檢測樣本特性的變化。通過提供在尖端與樣本之間的相對掃描運(yùn)動,可以獲取樣本特定區(qū)域上的表面特性數(shù)據(jù),并且可以產(chǎn)生樣本的相應(yīng)映射。圖1中示意性示出了...
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