技術編號：66623
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本發(fā)明涉及半導體器件的制造。具體而言，本發(fā)明涉及用于制作太陽能電池的系 統(tǒng)和方法。背景技術使用多用途半導體制作工具來制造半導體器件。由于當前半導體器件的尺度不斷 縮小，這些工具根據(jù)嚴格規(guī)格來制作器件。這些多用途的工具使用跨越寬能量范圍的光束 為不同制作步驟生成不同核素的離子。能夠制作幾何形狀小的器件的這些工具具有嚴格的 掃描尺度。它們也進行質(zhì)量分析以減少污染并且包括用于中和襯底上所收集的電荷的特殊 模塊。由于這些工具如此復雜并且它們的要求如此苛刻，所以它們的輸出相對少、每小時僅 約200個晶片。圖1示出了用...
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