技術(shù)編號：6581967
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種。背景技術(shù)處理干涉條紋圖像可以獲得平面光學(xué)元件的面形偏差，該面形偏差值反映了被測平面光學(xué)元件的面形加工信息。如何能夠準確、方便及低成本檢測平面光學(xué)元件的面形偏差，對于改善平面光學(xué)元件的高精度加工具有重要的作用。目前，人工作圖法可以滿足光學(xué)元件生產(chǎn)車間的低成本檢測要求，但過程較為繁瑣且測量精度不高。隨著人們對平面光學(xué)元件的加工要求越來越高，這種方法已經(jīng)不能滿足精度高、適應(yīng)性強及自動化測量的要求。用目視判讀法雖然可獲得平面光學(xué)元件的面形偏差，但這...
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