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周期結(jié)構(gòu)的光學(xué)檢測方法和系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6570271

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本發(fā)明涉及一種通過光學(xué)圖1象記錄器檢測周期結(jié)構(gòu)的方法和系統(tǒng),該 光學(xué)圖像記錄器具有像素結(jié)構(gòu),并且其記錄的圖像借助本身已知的圖像評 估方法特別與周期結(jié)構(gòu)的無瑕瘋基準(zhǔn)圖像進行比較,以例如確定所記錄圖 像周期結(jié)構(gòu)中的瑕疵。背景技術(shù)本發(fā)明可用于檢測周期比待檢測表面總面積小得多的非常精細的周期結(jié)構(gòu)。其一個實例為檢測LCD屏幕的彩色濾光片,其中紅色、黃色和綠 色濾光片元件以相互相鄰的周期設(shè)置,通過對其選擇性背光照射而對觀看 者產(chǎn)生彩色圖像。在制造過程中這樣的結(jié)構(gòu)還經(jīng)常...
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