技術(shù)編號：6508428
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于真空泵的故障保護(hù)和維護(hù)的診斷方法，更具體地講，涉及具有多個操作條件的半導(dǎo)體制造工藝。背景技術(shù) 對現(xiàn)代半導(dǎo)體制造工藝中真空泵的可用性和可靠性的需求不斷增長。原因在于隨著生產(chǎn)晶片尺寸越來越大，失敗的批量生產(chǎn)晶片的成本和損失的生產(chǎn)時間越來越高。Bahnen和Kuhn已經(jīng)提出了對這種現(xiàn)代半導(dǎo)體工藝的真空泵的技術(shù)需求[參考文件1R.Bahnen and M Kuhn，“Increased reliability of drypumps due to p...
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