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用于對(duì)倒裝芯片電子器件進(jìn)行低應(yīng)力底部填充的平衡產(chǎn)品流程的制造系統(tǒng)和設(shè)備的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6499460

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0001本發(fā)明一般涉及電子系統(tǒng)和半導(dǎo)體器件領(lǐng)域,更具體地,是涉及一種在半導(dǎo)體器件的組裝過(guò)程中加強(qiáng)工藝控制并減少熱機(jī)械應(yīng)力的設(shè)備。背景技術(shù)0002當(dāng)通過(guò)焊料凸點(diǎn)連接,利用導(dǎo)電線路(例如印制電路板)在絕緣襯底上組裝集成電路(IC)芯片時(shí),芯片與襯底之間由凸點(diǎn)間隔開(kāi),從而在芯片與襯底之間形成間隙。IC芯片通常為半導(dǎo)體,例如硅、硅鍺、或砷化鎵,而襯底一般由陶瓷或基于聚合物的材料(例如FR-4)制成。因此,芯片與襯底的熱膨脹系數(shù)(CTE)之間存在顯著差異;例如,在硅...
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