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Tdi傳感器、拍攝裝置、元件安裝裝置、元件測(cè)試裝置及基板檢查裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6496173

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一種TDI傳感器,以指定時(shí)期進(jìn)行線圖像的拍攝動(dòng)作,輸出經(jīng)多次曝光的線圖像以作為每條拍攝線的圖像。TDI傳感器包括受光部,包含像素列和電荷保持列,且一個(gè)所述像素列和一個(gè)或多個(gè)所述電荷保持列沿著與第一方向正交的第二方向交替地排列,所述像素列具有沿著所述第一方向排列且分別生成并保持對(duì)應(yīng)于曝光量的電荷的多個(gè)拍攝器件,所述電荷保持列具有多個(gè)電荷保持部,所述多個(gè)電荷保持部?jī)H具有保持所述電荷的功能且以對(duì)應(yīng)于所述像素列的各拍攝器件的方式沿著所述第一方向排列;傳送部,將所述...
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