技術(shù)編號：6482496
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及工業(yè)控制、數(shù)據(jù)通信領(lǐng)域，尤其涉及在高精度光刻機(jī)中， 一種 。背景技術(shù)在半導(dǎo)體制造工藝中，光刻機(jī)系統(tǒng)是個復(fù)雜系統(tǒng)，從上層軟件直到底層硬 件涉及到大量的數(shù)據(jù)交互，而每個分系統(tǒng)或板卡所采用的硬件環(huán)境和數(shù)據(jù)總線 的控制方法各有不同，所以需要一個交換數(shù)據(jù)的方法，來實現(xiàn)各分系統(tǒng)以及板卡之間可靠的數(shù)據(jù)通信?！兑环N以DPRAM做媒介實現(xiàn)數(shù)據(jù)軟交換通信的控制方法》 (CN 1758627A)公開了 一種通過雙端口隨機(jī)存儲器實現(xiàn)數(shù)據(jù)軟交換通信的控制 方法，其方法是兩...
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