技術(shù)編號(hào)：6480381
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及集成電路的設(shè)計(jì)和制造。具體地，涉及改善制造集成電路 的照相平版印刷處理的系統(tǒng)和方法。背景技術(shù)集成電路("IC")是一種器件(例如，半導(dǎo)體器件)或者電子系統(tǒng)，其包括許多電子元件，諸如晶體管、電阻器、二極管等。這些元件常常相 互連接，形成多個(gè)電路元件，諸如，門電路、電池、存儲(chǔ)單元、算術(shù)單元、控制器、解碼器等。IC包括多層配線，這些配線將電子和電路元件相互連接起來(lái)。設(shè)計(jì)工程師通過(guò)將IC元件的邏輯或電路描述轉(zhuǎn)換為幾何描述來(lái)設(shè)計(jì) IC，這稱為設(shè)計(jì)布局。IC...
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