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六自由度測量功能的激光掃描跟蹤儀的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6479198

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本發(fā)明涉及一種六自由度測量功能的激光掃描跟蹤儀。屬于激光掃描跟蹤儀的創(chuàng)新技術(shù)。背景技術(shù) 現(xiàn)有的三維激光掃描跟蹤儀是一種高精度(動態(tài)測量時為±20ppm)、高分辨力(距離測量精度為0.1μm,角度測量精度為0.25arc-sec.)、大范圍(25m)、智能化動態(tài)測量儀器,其工作原理如圖1所示。由HP雙頻激光干涉儀1發(fā)出的測量光束經(jīng)分光鏡3入射到二維旋轉(zhuǎn)的平面反射鏡4上,由平面鏡4反射出的平行光束打到角隅棱鏡5的中心位置后被反射回到分光鏡3,返回的光束照射到二...
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