技術(shù)編號：6479087
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于對半導(dǎo)體晶圓、液晶玻璃基板等被觀察物進(jìn)行觀察的觀察裝 置和觀察方法。背景技術(shù)近年來，在半導(dǎo)體晶圓上形成的電路元件圖案的集成度變高，并且在半導(dǎo)體制造 工序中晶圓的表面處理所使用的薄膜的種類增加。隨之，薄膜的邊界部分露出的晶圓的端 部附近的缺陷檢查變得重要。若在晶圓的端部附近存在異物等缺陷，則在之后的工序中異 物等會進(jìn)入晶圓的表面?zhèn)榷鴰聿涣加绊?，從而對由晶圓制作的電路元件的成品率產(chǎn)生影 響。因此，提出了以下檢查裝置(例如參照專利文獻(xiàn)1)從多...
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