技術(shù)編號：64651
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 技術(shù)領(lǐng)域本實用新型涉及原子力顯微鏡掃描成像技術(shù)，尤其涉及原子力顯微鏡金相掃描樣品臺。背景技術(shù)原子力顯微鏡是一種精密掃描成像設(shè)備，其掃描樣品臺對于待測樣品厚度要求不超過3mm，這給原子力顯微鏡在冶金行業(yè)的廣泛應用帶來了麻煩。這是由于用于冶金行業(yè)分析用的樣品制備通常要經(jīng)過切割、鑲嵌、研磨、拋光和腐蝕，而用于原子力觀察的樣品為了使樣品表面高低起伏在原子力顯微鏡的Z向觀察范圍(＜8μm)之內(nèi)，也同樣需要對樣品進行上述五道工序處理，這樣加工后的試樣厚度在10-20mm之間，為了使樣品不超過3mm厚的要求，需要對已經(jīng)制備好的...
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