技術編號：64149
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本發(fā)明涉及掃描隧道顯微鏡技術領域，特別是一種新型微尖端面陣列器件。 背景技術從1982年IBM公司的G.Bining等人發(fā)明隧道顯微鏡(STM)以來，衍生出的原子力顯微鏡(AFM)、掃描探針顯微鏡(SPM)等，已在物理、化學、電子、材料、醫(yī)藥等眾多領域得到了廣泛的應用，成為人們研究微觀世界的強有力的工具。在此基礎上，國外已經(jīng)涌現(xiàn)出各種新型的懸臂梁微尖端器件，目前已經(jīng)被應用于高密度數(shù)據(jù)存取、材料表面超微加工、材料表面探知、傳感器等諸多方面。 已有專利微尖端線列器件申請?zhí)?00510011987.8。其結構...
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